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倒角機

全自動晶圓倒角機

具備兩個加工軸，可獨立控制，也可單軸單獨加工。與單軸設備相比，雙軸設備可將加工效率提高70%。（僅供參考）

產品詳情

型       號
CGB-LD150CGB-LD200CGB-LD300
晶圓規(guī)格6inch8inch12inch
晶圓厚度

350~1400μm

槽體材質PVDF 、Quartz
處理時間≤10min
處理溫度60~80℃±2℃
加  熱  器進口高純石英
溫度管理溫度傳感器;鉑電阻式
加工后液體殘留No
安全認證SEMI S2