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半自動(dòng)槽式清洗機(jī)是一種結(jié)合了自動(dòng)和手動(dòng)操作的清洗設(shè)備，具有較大的操作靈活性，能夠適應(yīng)不同尺寸和類型的晶圓清洗需求，適用于多樣化的生產(chǎn)環(huán)境。

? 兼?zhèn)湟欢ㄗ詣?dòng)化功能，如清洗液的循環(huán)、加熱、拋動(dòng)、旋轉(zhuǎn)等操作可自動(dòng)完成，減輕了人工操作強(qiáng)度，同時(shí)又保留了人工參與環(huán)節(jié)，操作人員能根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行干預(yù)和調(diào)整，靈活性較高。

? 通常配備操作面板，界面簡潔直觀，按鈕和顯示屏布局合理，工作人員經(jīng)簡單培訓(xùn)就能熟練操作，降低了對(duì)操作人員專業(yè)技能的要求。

? 與一些全自動(dòng)高端清洗設(shè)備相比，槽式半自動(dòng)濕法清洗機(jī)結(jié)構(gòu)相對(duì)簡單，價(jià)格較為便宜，能為企業(yè)節(jié)省設(shè)備采購成本。

? 設(shè)計(jì)有多重安全防護(hù)裝置，如液位保護(hù)、溫度保護(hù)、漏電保護(hù)等，能有效防止因操作失誤或設(shè)備故障引發(fā)的安全事故，保障操作人員和設(shè)備的安全。