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Cassette-Less清洗機是一種在半導(dǎo)體制造中使用的清洗設(shè)備，其核心特點在于去除了傳統(tǒng)清洗設(shè)備中的 Cassette，從而在效率、靈活性和潔凈度方面實現(xiàn)了顯著提升。

? 應(yīng)用場景:主要集中在半導(dǎo)體制造、微機電系統(tǒng)（MEMS）。在半導(dǎo)體制造過程中，它廣泛應(yīng)用于光刻、刻蝕等關(guān)鍵工藝的清洗步驟，確保晶圓的清潔度符合高要求。

? 緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計，減少占地面積，適合空間有限的工廠環(huán)境。

? 不需要使用Cassette，減少了晶圓清洗過程中的接觸點，提高產(chǎn)品的潔凈度和質(zhì)量。

? 配備先進的控制系統(tǒng)和自動化功能，能夠?qū)崿F(xiàn)精確的溫度、時間和化學(xué)溶液控制，確保清洗效果的一致性和穩(wěn)定性。