型 號(hào) | CGB-LD150 | CGB-LD200 | CGB-LD300 |
晶圓規(guī)格 | 6inch | 8inch | 12inch |
晶圓厚度 | 350~1400μm | ||
槽體材質(zhì) | PVDF 、Quartz | ||
處理時(shí)間 | ≤10min | ||
處理溫度 | 60~80℃±2℃ | ||
加 熱 器 | 進(jìn)口高純石英 | ||
溫度管理 | 溫度傳感器;鉑電阻式 | ||
加工后液體殘留 | No | ||
安全認(rèn)證 | SEMI S2 |
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