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產(chǎn)品中心

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干燥機(jī)

慢提拉+紅外干燥機(jī)

該設(shè)備是一款專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)的熱水慢提拉干燥設(shè)備,主要用于晶圓的清洗和干燥工藝。設(shè)備包含熱水沖洗槽、石英紅外燈管+氮?dú)夂娓刹垡约疤嵘龣C(jī)構(gòu),能夠兼容4、6、8、12英寸的晶圓。通過熱水沖洗、紅外加熱結(jié)合氮?dú)夂娓傻姆绞剑_保晶圓在干燥過程中無污染、無損傷,滿足高潔凈度要求。設(shè)備支持全自動(dòng)化集成,可無縫嵌入全自動(dòng)生產(chǎn)線,提升生產(chǎn)效率和工藝穩(wěn)定性。

產(chǎn)品詳情

型       號(hào)
CGB-LD150CGB-LD200CGB-LD300
晶圓規(guī)格6inch8inch12inch
晶圓厚度

350~1400μm

槽體材質(zhì)PVDF 、Quartz
處理時(shí)間≤10min
處理溫度60~80℃±2℃
加  熱  器進(jìn)口高純石英
溫度管理溫度傳感器;鉑電阻式
加工后液體殘留No
安全認(rèn)證SEMI S2