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超薄片馬蘭戈尼干燥用于硅（Si）、碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）、磷化銦（InP）等超薄晶圓（110μm-1400μm）設(shè)計(jì)，兼容4/6/8/12英寸晶圓尺寸，適用于先進(jìn)封裝、MEMS傳感器等對晶圓厚度及表面完整性要求嚴(yán)苛的領(lǐng)域?；诟呔锐R蘭戈尼效應(yīng)，通過氮?dú)饧訅嚎刂艻PA在水面形成納米級均勻薄膜，結(jié)合超低應(yīng)力提拉與微脈沖排水雙模式干燥，消除超薄晶圓形變風(fēng)險。設(shè)備采用接觸式上下搬送機(jī)構(gòu)，確保超薄晶圓在搬運(yùn)與干燥過程中零破損，同時避免晶圓與載具（Cassette）分離造成的污染。