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臥式晶圓甩干機(jī)是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵清洗設(shè)備，專為實(shí)現(xiàn)晶圓的高效、快速干燥而設(shè)計。此干燥步驟對保障后續(xù)工藝質(zhì)量和產(chǎn)品可靠性至關(guān)重要。其核心原理是利用高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力將晶圓表面的水分甩離。在甩干過程中，旋轉(zhuǎn)動作在腔體內(nèi)形成氣流，引導(dǎo)外部空氣從槽蓋被吸入，經(jīng)FFU（風(fēng)機(jī)過濾單元）濾芯過濾凈化后，最終由專用排氣系統(tǒng)順暢排出。為應(yīng)對甩干時可能產(chǎn)生的靜電積聚（易導(dǎo)致顆粒粘附），這類氣流式甩干機(jī)通常還集成靜電消除部件，以有效減少此類現(xiàn)象發(fā)生。