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廢氣處理系統(tǒng)針對半導(dǎo)體生產(chǎn)中產(chǎn)生含多種有害物質(zhì)的廢氣，如酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣、反應(yīng)性氣體、重金屬氣體等，進(jìn)行有效的分解、處理。尾氣處理設(shè)備可將這些有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為無害或低害物質(zhì)，防止其排放到大氣中，減少對空氣、水體和土壤的污染，保護(hù)生態(tài)平衡。能降低車間內(nèi)有害氣體濃度，為員工創(chuàng)造安全健康的工作環(huán)境，減少有害物質(zhì)對員工呼吸系統(tǒng)、神經(jīng)系統(tǒng)等的損害，降低職業(yè)病發(fā)生風(fēng)險。尾氣中的腐蝕性成分會對生產(chǎn)設(shè)備、通風(fēng)管道等造成腐蝕，縮短其使用壽命，增加維護(hù)成本。處理尾氣可減少這種腐蝕，延長設(shè)備和設(shè)施的使用年限。

? 處理效率高：配備磁力泵、噴淋裝置、活性炭吸附裝置等，可快速高效的進(jìn)行廢氣處理。

? 運(yùn)行穩(wěn)定可靠：通常采用先進(jìn)的控制系統(tǒng)，如PLC控制，可實時監(jiān)測和調(diào)節(jié)設(shè)備運(yùn)行參數(shù)，確保在不同工況下都能穩(wěn)定運(yùn)行，減少故障發(fā)生概率，保障尾氣處理效果。

? 操作簡便：自動化程度高，通過遠(yuǎn)程操作和管理，提高工作效率。