石英鐘罩清洗機(jī)是一種專門用于清洗石英鐘罩的設(shè)備,通常用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中,以確保高清潔度。
? 清洗效果卓越,全方位無(wú)死角清洗,采用特殊的清洗工藝和噴頭設(shè)計(jì),使清洗液均勻地噴灑到鐘罩內(nèi)的各個(gè)部位。
? 對(duì)于外延生長(zhǎng)過(guò)程中產(chǎn)生的微小顆粒和雜質(zhì),能實(shí)現(xiàn)高精度清洗。
? 避免應(yīng)力損傷,清洗過(guò)程中不會(huì)對(duì)石英鐘罩產(chǎn)生過(guò)大的機(jī)械應(yīng)力或熱應(yīng)力,防止因應(yīng)力集中導(dǎo)致鐘罩破裂或變形。
? 自動(dòng)化程度高,智能操作流程,配備先進(jìn)的自動(dòng)化控制系統(tǒng)。
? 可設(shè)計(jì)為能適應(yīng)不同尺寸和規(guī)格的外延石英鐘罩清洗機(jī),滿足多種生產(chǎn)需求。
? 清洗工藝可根據(jù)不同的清洗需求和工藝要求,靈活定制清洗方案。
石英鐘罩規(guī)格 | 630/680 |
放置方式 | 立式方式 |
密封方式 | PTFE壓緊 |
清洗方式 | 噴淋式清洗 |
干燥方式 | Hot N? |
流量監(jiān)控方式 | 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) |
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