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通過化學(xué)蝕刻，該方法蝕刻出來的石英環(huán)能達(dá)到表面清潔效果良好的要求，并可以提高生產(chǎn)效率，更適合于量產(chǎn)。工藝柔性化設(shè)計(jì)，可設(shè)備多組工藝配方。多級別用戶工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲。 

? 酸槽蝕刻：化學(xué)液配合循環(huán)過濾系統(tǒng)對石英環(huán)表面進(jìn)行微蝕刻處理

? 化學(xué)液回收利用：工藝完成后，化學(xué)液經(jīng)過濾器進(jìn)入儲液箱，可供下次重復(fù)利用

? 水槽清洗：配有快速注水、慢速溢流、高壓噴淋、底部鼓氮、急速排放等多重功能于一身，滿足不同工件的工藝要求

? 節(jié)水功能：慢速溢流后與噴淋后的DIW可經(jīng)回收管路進(jìn)入純水箱，供下次注水使用，可很大程度上節(jié)約DIW

? 干燥功能：使用高溫N?風(fēng)配合槽內(nèi)紅外加熱管進(jìn)行干燥