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純水預(yù)熱柜是一種濕法清洗設(shè)備中的關(guān)鍵子系統(tǒng)，主要用于保障

工藝穩(wěn)定性和能效。通過(guò)熱交換系統(tǒng)將去離子水（DI水）升溫至設(shè)定溫度（如80℃左右），直接輸送至設(shè)備內(nèi)部工藝槽。系統(tǒng)可根據(jù)設(shè)備內(nèi)部工藝槽的實(shí)際容積，動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)流量參數(shù)，以實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)匹配工藝需求。

? 熱源設(shè)計(jì)?：采用紅外加熱管加熱系統(tǒng)，通過(guò)電加熱介質(zhì)間接提升純水溫度，避免直接接觸污染

? 水箱設(shè)計(jì)：采用高純石英材質(zhì)，潔凈度高，無(wú)顆?；蚪饘僭匚龀觯壹訜嵝矢?/p>

? 供水泵設(shè)計(jì)：采用全PTFE材質(zhì)氣動(dòng)泵，無(wú)污染析出，可長(zhǎng)期耐高溫工作

? 閥門設(shè)計(jì)：采用全PFA材質(zhì)氣動(dòng)閥，無(wú)污染析出，可長(zhǎng)期耐高溫工作

? 保溫層設(shè)計(jì)：采用外包式保溫棉+保溫層雙層保溫設(shè)計(jì)，熱量損失小