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半自動(dòng)單腔光刻版清洗機(jī)通過浸潤、Brush刷洗，配合ACE/IPA沖洗，兆聲清洗，可以有效去除光刻版表面光刻膠殘留，并對光刻版表面進(jìn)行清洗。

設(shè)備主要由工藝腔體、升降掃描擺臂模塊、刷洗擺臂模塊、供排液系統(tǒng)、空氣凈化及靜電消除系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)、中央控制系統(tǒng)等組成。工藝腔體可配置Brush刷洗、ACE清洗、IPA清洗、兆聲清洗、氮?dú)獯祾摺⒌獨(dú)獯蹈?、離心甩干等功能。

? 兼容多種規(guī)格尺寸的光刻板

? 分層式腔體設(shè)計(jì)

? 采用干進(jìn)干出加工模式

? 化學(xué)液可循環(huán)再利用

? 低藥液消耗

? 小型化設(shè)計(jì)，滿足實(shí)驗(yàn)室需求