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全自動(dòng)籽晶刷洗機(jī)通過旋轉(zhuǎn)式刷頭及二流體，配合DIW可以有效去除晶圓上殘留的物理顆粒，主要用于不同規(guī)格籽晶片的清洗。

? 可兼容6-12吋多規(guī)格晶圓

? 具備刷頭自清潔功能

? 獨(dú)立翻轉(zhuǎn)模塊，可實(shí)現(xiàn)晶圓正反面自動(dòng)翻轉(zhuǎn)并清洗

? 可實(shí)現(xiàn)多規(guī)格晶圓精準(zhǔn)對(duì)中

? 優(yōu)秀的清洗效果

? 多種安全檢測(cè)，不易產(chǎn)生碎片